先进微纳加工与测试平台

先进微纳加工与测试平台旨在由顶尖的设备、优秀的人才打造一个先进的微纳器件加工和微纳结构表征公共平台；在满足西湖大学相关betway必威棋牌网址 和学科建设需要的同时，通过技术研发和高层次微纳加工人才培养为地方产业发展做贡献。

占地900平米的云栖平台，秉承“顶尖、科学、经济”的理念，通过购置先进可靠的微纳加工设备，如电子束曝光、真空等离子刻蚀、先进镀膜设备和配套的表征工具，吸引和培养优秀的微纳加工人才，开发无机和有机微纳光学和光电子器件的加工工艺，满足学校科研和人才培养的需要，力争在5年内成为一个国内有特色的微纳加工平台。

占地3600平米的云谷平台，将在云栖平台的基础上，全面完善微纳电子器件制造工艺和研发相关的大型装备，拓广平台的加工能力，实现III-V族和II-VI族半导体材料的成长和器件加工，并把微纳结构的表征能力提升到亚纳米精度和3D，力争在8-10年内使平台的微纳加工和表征能力到达国际领先或先进水平。